特种玻璃

玻璃厚度

0.2mm~1.1mm

表面粗糙度

＜1nm

光透视比τvD65(d=0.5mm)

91.90%

平均线性热膨胀系数n（静态测量)

3.2(20 °C- 300 °C/10^-6K^-1)

转变温度 Tg

717℃

1MHz下介电常数εr

5.1

折射率 n

1.5099

密度ρ(40°C/h下退火)

2.43 g/cm³

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

4.9×10^-3（5Ghz）

3.5×10^-3（1Ghz）

2.8×10^-3（1MGhz）

玻璃厚度

0.2mm~1.1mm

表面粗糙度

＜1nm

光透视比τvD65(d=0.5mm)

/

平均线性热膨胀系数n（静态测量)

3.2(20 °C- 300 °C/10^-6K^-1)

转变温度 Tg

525℃

1MHz下介电常数εr

4.8

折射率 n

1.471

密度ρ(40°C/h下退火)

2.23 g/cm³

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

3.8×10-³（1MGhz）

5.8×10-³（1Ghz）

7.3×10-³（5Ghz）

玻璃厚度

0.2mm~1.1mm

表面粗糙度

＜1.5nm

光透视比τvD65(d=0.5mm)

91.00%

平均线性热膨胀系数n（静态测量)

0.55(20 °C- 300 °C/10^-6K^-1)

转变温度 Tg

1120℃

1MHz下介电常数εr

3.8

折射率 n

1.4584

密度ρ(40°C/h下退火)

2.20 g/cm³

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

3×10^-4（20Ghz）

2×10^-4（10Ghz）

玻璃厚度

0.5mm~1.5mm

表面粗糙度

＜1nm

光透视比τvD65(d=0.5mm)

92.00%

平均线性热膨胀系数n（静态测量)

9.4(0°C- 300 °C/10^-6K^-1)

转变温度 Tg

536℃

1MHz下介电常数εr

7

折射率 n

1.5229

密度ρ(40°C/h下退火)

2.56 g/cm³

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

2.6×10^-3（1MGhz）

5.9×10^-3（1Ghz）

8.4×10^-3（5Ghz）

玻璃厚度

0.2mm~1.1mm

表面粗糙度

＜5nm

光透视比τvD65(d=0.5mm)

92.00%

平均线性热膨胀系数n（静态测量)

8.49(20°C- 300 °C/10^-6K^-1)

转变温度 Tg

455℃

1MHz下介电常数εr

6.5

折射率 n

1.515

密度ρ(40°C/h下退火)

2.37 g/cm³

可供晶圆尺寸

2"方片、6"、8"圆片

损耗角正切tgδ/介质损耗

6.5×10^-3（1Mhz）

8.4×10^-3（1Ghz）

10.9×10^-3（5Ghz）

密度ρ(25°C)

0.82~0.83 g/cm3

吸水率

0.01%

熔点

240℃

软化点

160~170℃

收缩率

1.5%~3.0%

透光率

90%~92%

介电强度

65KV/mm

介电常数

2.12

可供尺寸

定制